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1.安全性卓越的LED式 以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。 M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。 2.亦可检测玻璃晶圆 M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。 3.可检测涂氮晶圆 氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。 而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。 4.0.5ms的高速反应 实现0.5…
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